带压电陶瓷促动器的小型非载流式汽化器。

压电陶瓷致动器控制阀能够进行微流量控制和快速响应，控制汽化室附近的液体流速。

流量受控的液体扩散到网状过滤器中，并在汽化室中加热，即使在微小的流速下也能实现稳定的汽化

VU-3100

长处

使用示例

TEOS 的非载运气化

基于高温 MFC 的非载流子汽化具有汽化体积小的缺点。 VU-3100 是 LINTEC 独有的非载流结构，尽管体积小，但能够提供 TEOS 的非载流子汽化：5 g/min （538 SCCM）。

规格表

*温度 所需的压差 * TEOS 汽化流速 密封
150°C 50~300kPa 5 克/分钟 金