高效汽化器，带有双流体喷嘴、液体喷嘴和载气喷嘴。
两个流体喷嘴，一个液体喷嘴和一个载气喷嘴 （0.05~4SLM），在汽化室前相遇，并精细喷射液体。 微型化液体可以通过辐射热高效蒸发。
在汽化室的顶部，液体控制阀接收来自液体质量流量计 （LM-3000L） 的流量信号并调整阀门开度。 通过控制流速，可以稳定地供给汽化。
高效蒸发器 VU-430
长处
使用示例
低蒸气压材料的汽化
双流体喷嘴
*温度为 200°C 的耐热结构和双流体喷嘴，即使对于低 K、高 K 和各种金属等低蒸汽压材料，也能实现高效、稳定的液体汽化供应。 通过将加热块的温度控制分为侧面和底部，可以进行的温度控制。 即使对于容易发生热变性的材料，也可以进行精细的温度控制。
规格表
| *温度 | 载气流速 | * H2O 汽化流速 | * TEOS 汽化流速 | 密封 |
| 200°C | 0.05~4SLM | 1.0 克/分钟 | 10 克/分钟 | 金 |
