流量控制阀安装在高性能质量流量控制器上。
阀门开度通过外部通讯 0~5V 调节。 配备压电陶瓷促动器的控制阀，用于高速控制气体流量和压力控制。
SUS-316L 块和 Au 密封允许调节腐蚀性气体的流量。
使用示例
压力控制阀
许多实验和制造过程都需要恒定的腔室压力。 它可以通过组合压力表、PID 控制器和 CV-3000 作为压力设备进行控制。
规格表
| 温度 | *小压差 | *压差 | *流量 | 密封 | 响应时间 |
| 0~50°C | 50kPa | 300kPa | 10SLM | 金 | 0.5 秒或更短 |
* 规格表是具有一般规格的调节阀。 可以通过 options 进行更改。
