高性能数字质量流量控制器

±高性能数字质量流量控制器，保证 1% S.P.。

Lintec 的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度流量测量。 它抑制了由于传感器受热而随时间推移而引起的劣化，即使在臭氧等高度可降解的气体下也能实现流量控制。

作为选件，高性能、全能数字质量流量控制器，可用于液化气、微流量 F.S.、宽范围、表面到面对面和接头规格。

高性能质量流量控制器

使用示例

半导体制造前端工艺

由于 CVD（化学气相沉积）ALD 沉积设备和蚀刻设备中使用了高反应性气体，因此必须采用具有高耐腐蚀性的金属密封的气体质量流量控制器。

此外，在常温常压下，前驱体中含有大量的液化气体，因此具有耐热温度和难以再液化的阀门结构很重要。 MC-3000L 高精度质量流量控制器可选择支持液化气体，*工作温度为 50°C（可选 55°C）。

分析器

可能需要分析仪来控制微小流速，但一般质量流量控制器的*小 F.S. 为 5 SCCM，这无法控制微小流速。 MC-3000L 高精度质量流量控制器可选择 F.S.1 SCCM 或更低规格制造。 请联系我们了解详情。

此外，MC-3000L 高精度质量流量控制器标配小死体积隔膜阀。

规格表

* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。