±高性能数字质量流量控制器,保证 1% S.P.。
Lintec 的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度流量测量。 它抑制了由于传感器受热而随时间推移而引起的劣化,即使在臭氧等高度可降解的气体下也能实现流量控制。
作为选件,高性能、全能数字质量流量控制器,可用于液化气、微流量 F.S.、宽范围、表面到面对面和接头规格。
![高性能质量流量控制器 [MC-3000L]](https://lintec-mfc.co.jp/wp-content/uploads/2020/04/MC-3000L-300x169.png)
长处
- 精度±1%S.P.
- 工作温度:5~50°C
- 金属密封件
- 清洁(保证颗粒)
- 环境温度补偿传感器
- RS-485 通信
选择
- 微流量 F.S.
- 与液化气兼容
- 宽
使用示例
半导体制造前端工艺
由于 CVD(化学气相沉积)ALD 沉积设备和蚀刻设备中使用了高反应性气体,因此必须采用具有高耐腐蚀性的金属密封的气体质量流量控制器。
此外,在常温常压下,前驱体中含有大量的液化气体,因此具有耐热温度和难以再液化的阀门结构很重要。 MC-3000L 高精度质量流量控制器可选择支持液化气体,*工作温度为 50°C(可选 55°C)。
分析器
可能需要分析仪来控制微小流速,但一般质量流量控制器的*小 F.S. 为 5 SCCM,这无法控制微小流速。 MC-3000L 高精度质量流量控制器可选择 F.S.1 SCCM 或更低规格制造。 请联系我们了解详情。
此外,MC-3000L 高精度质量流量控制器标配小死体积隔膜阀。
规格表
温度 | *小压差 | *压差 | 精度 | 控制范围 | *低 F.S. | 马克斯 FS | 密封 |
5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*满量程 | 5SCCM | 400SLM | 金 |
* 规格表是具有一般规格的质量流量控制器。 可以通过 options 进行更改。