响应时间为 200 毫秒的快速质量流量控制器。
通过热传感器实现 100 毫秒（典型值）的高速流量控制。 LINTEC 的非接触式热式流量传感器和压电控制阀可实现腐蚀性气体的快速流量控制。
它具有 1.0% S.P. 的高精度±流量精度，并且可以从 DeviceNet 和 EtherCAT 中选择数字通信方式。
MC-7000 系列
长处
- 快速流量控制：200 毫秒
- 精度±1%S.P.
- 工作温度：5~50°C
- 金属密封件
- 清洁（保证颗粒）
- 环境温度补偿传感器
- EtherCAT 通信
- DeviceNet™ 通信
快速流量控制
从头开始控制
脉冲响应性
使用示例
高速蚀刻工艺
在半导体制造工艺中，需要在实现小型化的同时提高吞吐量。 对控制反应气体流速以缩短流量控制启动时间的质量流量控制器的需求也越来越大。 高速质量流量控制器 [MC-7000] 是流量传感器和流量测量气体不接触的非接触式热式流量传感器，可实现 200 毫秒的高速响应。 非接触式设计可实现腐蚀性气体流量测量的高速流量控制。
规格表
| 温度 | *小压差 | *压差 | 精度 | 控制范围 | *低 F.S. | 马克斯 FS | 密封 |
| 5~50°C | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*满量程 | 5SCCM | 20 升 | 金 |
